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真空泵按性能、結(jié)構(gòu)和工作原理的分類

(1)按性能特點和用途分類

①低真空泵:此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式真空泵、水環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

②中真空泵:極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵等。

③高真空泵:極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴散泵及分子泵等屬于高真空泵。

④超高真空泵:極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等。

(2)按結(jié)構(gòu)特點分類

①機械式容積真空泵:這種泵是靠機械動作使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的。如往復(fù)式真空泵、旋轉(zhuǎn)式機械泵等都屬于此類泵。

②射流式真空泵:這種泵沒有機械運動部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。

③其他類型真空泵:這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

(3)按工作原理分類 這是真空泵的基本分類方式，根據(jù)工作原理的不同各種真空泵可分為往復(fù)式、旋片式、滑閥式、機械增壓式、噴射泵、擴散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。