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真空泵中真空材料的選材原則

對(duì)真空容器殼體及內(nèi)部零件材抖的要求

①真空泵有足夠的機(jī)械強(qiáng)度和剛度來保證殼體能承受住室溫和烘烤溫度下的大氣壓力，并且在加熱烘烤(特別是對(duì)超高真空系統(tǒng)) 時(shí)不發(fā)生變形。

②氣密性好。要保持一個(gè)完好的真空環(huán)境，器壁材料不應(yīng)存在多孔結(jié)構(gòu)、裂紋或形成滲漏的其他缺陷。有較低的滲透速率和出氣速率。

③在工作溫度和烘烤溫度下的飽和蒸氣壓要足夠低(對(duì)超高真空系統(tǒng)來說尤其重要)。

④化學(xué)穩(wěn)定性好。不易氧化和腐蝕，不與真空泵中的工作介質(zhì)及工藝過程中的放氣發(fā)生化學(xué)反應(yīng)。

⑤熱穩(wěn)定性好。在系統(tǒng)的工作溫度(高溫與低溫)范圍內(nèi)，保持良好的真空性能和機(jī)械性能。

⑥在工作真空度及工作溫度下，真空容器內(nèi)部器件應(yīng)保持良好的工作性能，滿足作業(yè)工藝的要求。

⑦有較好的延展性、機(jī)械加工性能和焊接性能，容易加工成復(fù)雜形狀的殼體。