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時代高科研究院組織大講堂：真空泵的基本知識

真空干燥行業(yè)，真空泵的選擇影響到真空干燥的很多指標，真空泵是如何在時代高科的的隧道式真空干燥系統(tǒng)和單機組合式真干燥系統(tǒng)中工作的呢？6月22日下午，時代高科研究院組織公司相關人員進行了一場真空泵的培訓課程，此次課程主要介紹了真空泵的基本原理、結構、性能等知識。據(jù)了解，后續(xù)還會有一系列的課程來讓大家更深入的了解真空的相關知識。以下是此次培訓的內容簡介：

真空泵簡介

真空環(huán)境的獲得需要使用各種各樣的真空泵，它們是真空系統(tǒng)的主要組成部分.按其獲得真空方法的原理不同，可以將真空泵分為兩大類，即輸運式真空泵和捕獲式真空泵。輸運式真空泵采用對氣體進行壓縮的方式將氣體分子輸送至真空系統(tǒng)之外:而捕獲式真空泵則依靠在真空系統(tǒng)內凝集或吸附氣體分子的方式將氣體分子捕獲，排除于真空系統(tǒng)之外.與輸運式真空泵不同，某些捕獲式真空泵在工作完畢以后還可能將己捕獲的氣體分子釋放回真空系統(tǒng)。

輸運式泵又可細分為機械式氣體輸運泵和氣流式氣體輸運泵。旋轉式機械真空泵、羅茨泵以及渦輪分子泵是機械式氣體運輸泵的典型例子，而油擴散泵則屬于氣流式氣體運輸泵。捕獲式真空泵包括低溫吸附泵、濺射離子泵等。

真空泵按性能、結構和工作原理的分類

(1)按性能特點和用途分類

①低真空泵:此真空泵的極限壓強高于1.33Pa的真空泵屬于低真空泵。常見的有往復式真空泵、旋轉式真空泵、水環(huán)式真空泵、噴射式真空泵以及吸附式真空泵。

②中真空泵:極限壓強在10-2~1.33pa之間的真空泵屬于中真空泵。常見的有羅茨真空泵、多級噴射式真空泵等。

③高真空泵:極限壓強在10-6~10-2pa的真空泵屬于高真空泵。各種擴散泵及分子泵等屬于高真空泵。

④超高真空泵:極限壓強低于10-6Pa的真空泵屬于超高真空泵。超高真空泵主要有離子泵、低溫泵等。

(2)按結構特點分類

①機械式容積真空泵:這種泵是靠機械動作使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的。如往復式真空泵、旋轉式機械泵等都屬于此類泵。

②射流式真空泵:這種泵沒有機械運動部件.主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。

③其他類型真空泵:這類泵多屬于獲得高真空、極高真空或高純潔真空泵的泵類，如吸附泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

(3)按工作原理分類 這是真空泵的基本分類方式，根據(jù)工作原理的不同各種真空泵可分為往復式、旋片式、滑閥式、機械增壓式、噴射泵、擴散泵、分子泵、離子泵、冷凝泵等。

真空泵裝配間隙問題

裝配間除零部件間的配合公差是極重要的參數(shù)，是直接影響真空泵性能的。前已分析過零件的精度和配合不好將會出現(xiàn)的毛底。

例如，有一臺2X-15型泵使用者反應真空度總是抽不高預抽發(fā)現(xiàn)它運轉正常，不漏氣，不漏油，噪聲不明顯，溫升也不厲害，只是真空度僅20格(約8*10-2托)。經驗證明，真空泵油太臟，油中有水分，用錯了油，腔體內零部件磨損，零件間配合間隙過大等均會使真空泵產生這種情況。

著手修理時，可先作換油處理因這種方法是最方便也最湊效的方法。往往一些泵的真空度不高換了油就解決了。如換油不往反正下一步局部拆修或全拆修也是要換油清洗的。該2X一15型泵經換油后真空度仍在20格，故決定將它拆開檢態(tài)當清擦干凈后，測量零部件的腔體尺寸，發(fā)現(xiàn)端面間隙4-5絲，偏丸但考慮這種間隙只要調整好油路常常是可以的，所以，在吹通油路孔后，即裝好澎由，不過仍是20格。當?shù)诙尾痖_，檢查不垂直度(應不大于半絲，即Q 005 mm)，發(fā)現(xiàn)欠佳于是送平面磨床將腔伽面磨去2-3絲，使轉予旋片、腔體端蓋間配合問隙均小于2-3絲，不垂直度合格，這樣，再裝配后試抽，毛病就解決了，真空度達70格((1.5*10-2托左右)，已滿足生產使用。

此例說明有些毛病是很復雜的，不仔細檢查有時是難以檢查出來魄同時，也可看出，泵零部件的配合間隙是多么重要。

以上僅就真空度不高所舉的幾個方面的例子，并未包括所有漏氣等不正常原因。當然，真空泵油方面油量不足，油臟，油的牌號不符，混油，油中含水，因摩擦生熱使油質太稀，因油路不通使泵腔內沒有適量油產生密封油膜，閥片損壞使油在泵腔內循環(huán)密封不好等，均會使真空度上不去。在閥片、排氣閥門方面:前所列出的一些毛病，也會使真空度無法提高。配合間隙選取和零件尺寸公差更是修泵中的關鍵要嚴加注意。另外，有些中隔板壓入式的真空泵由于壓入時的過盈量過大，使泵腔變形，也會產生漏氣從而使真空度下降裝配不當，端蓋螺釘松緊不一，轉子軸心位移，旋片活動不好或彈簧變形，摻氣閥墊圈損壞或沒有擰緊等情

況均會使機械泵的真空度很低。只要找出相應毛病，加以處理即可修復。但要注意，必須根據(jù)具體情況和試抽時的仔細觀察，加以判斷，不要在情況或病因未明之前即魯莽從事，這樣往往易于損壞部性加大故障范圍，造成不良后果甚至報廢。